影響光柵尺測(cè)量精度的因素:
A:光學(xué)部分 B:機(jī)械部分 C:電氣部分 D:使用中的安裝與傳輸接收部分,使用后的精度下降,機(jī)械部分自身的偏差。
A、光學(xué)部分對(duì)精度的影響:
光柵玻璃—主要的是母尺精度、每毫米刻線數(shù)、刻線精度、刻線寬度一致性等。
光發(fā)射源—光的平行與一致性、光衰減。
光接收單元—讀取誤差、讀取響應(yīng)。
光學(xué)系統(tǒng)使用后的影響—污染,衰減。
B、機(jī)械部分對(duì)精度的影響:
安裝精度。軸承的精度與結(jié)構(gòu)精度。光學(xué)組建安裝的精度。
例如,就軸承的結(jié)構(gòu)而言,單軸承支撐結(jié)構(gòu)的軸承偏差無(wú)法消除,而且經(jīng)使用后偏差會(huì)更大,而雙軸承結(jié)構(gòu)或多支承結(jié)構(gòu),可有效降低單個(gè)軸承的偏差。
C、電氣部分對(duì)精度的影響:
電源的穩(wěn)定精度—對(duì)光發(fā)射源與接收單元的影響。
讀取響應(yīng)與電氣處理電路帶來(lái)的誤差;
電氣噪音影響,取決于光柵尺電氣系統(tǒng)的抗干擾能力;
例如,如果電子細(xì)分,也會(huì)帶來(lái)的誤差,按照德國(guó)海德漢提供的介紹,海德
漢光柵尺的細(xì)分電氣誤差與正余弦曲線誤差會(huì)有一個(gè)很小的差異。
D、光柵尺使用中帶來(lái)的精度影響:
輸出電纜的抗干擾與信號(hào)延遲(較長(zhǎng)距離或較快頻率下);
接收設(shè)備的響應(yīng)與接收設(shè)備內(nèi)部處理可能的誤差。
光柵尺高速位移時(shí)的動(dòng)態(tài)響應(yīng)偏差。
zui常見(jiàn)的就是我們自己使用安裝的方法與安裝結(jié)果帶來(lái)的偏差。
綜上所述,光柵尺的分辨率和精度其實(shí)是兩個(gè)*不同的概念,但是二者有關(guān)聯(lián),高分辨率可以得到高的測(cè)量精度,但不是高分辨率一定能得到高的測(cè)量精度。在同等條件下,理論上高分辨率光柵尺一定可以得到高的測(cè)量精度。